ケミカルフィルタシステム設計
配管用ケミカルフィルタENILSORBエニルソーブ
太さ（Φ）：80・100・170、エアー配管内に簡単に取付け、酸性ガス（塩化水素、硫化水素、二酸化硫黄など）、アルカリ性ガス（アンモニア、アミン類など）、有機系ガス（高沸点有機物、シロキサンなど）を除去。
配管中に存在する微量の分子汚染物質の除去には、配管用ケミカルフィルタ「エニルソーブ」が効果を発揮します。
特徴
- エアー配管のインラインに簡単に取り付けることができます
- 酸性ガス、アルカリ性ガス、有機系ガスの除去が可能です
- 流量および対象ガスに応じて自由に設計できます
型式
仕様
| 風量 | 型式 | 寸法 | 接続 | 筐体 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|
| 30ℓ/min | PG-F32A38S158TS | φ80ｘ158mm | Rc 3/8in | SUS304 | 約2Kg |
| 50ℓ/min | PG-F50A38S218TS | φ100ｘ218mm | Rc 3/8in | SUS304 | 約4Kg |
| 100ℓ/min | PG-F100A12S258TS | φ170ｘ258mm | Rc 1/2in | SUS304 | 約10Kg |
用途
- 製造装置内や設備配管内の清浄化
- 給排気系で使用する圧縮空気内の微量ガス除去
- 製品梱包時の塵埃除去、N2パージガスの代替品
使用例
- 半導体・液晶露光装置、計測器周辺、検査工程
- ボンディングマシーン、レーザー加工機
- 太陽電池ガラス加工、食品加工、再生医療、分析機器
配管用ケミカルフィルタの高圧配管実装試験データ
初期除去効率
対象物質
| 酸性物質 | アルカリ性物質 | 有機物質 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 窒素酸化物（NOx） | リン酸 | 過酢酸 | アンモニア | シロキサン | HMDSO |
| 硫黄酸化物（SOx） | ボロン | ギ酸 | Ｎ - メチルピロリドン | TMS | メチルメルカプタン |
| 硫化水素 | オゾン | 酢酸 | アミン類 | フタル酸エステル | エチレン |
| 塩化水素 | 塩素 | フッ化水素 | － | リン酸エステル | 有機溶剤 |
| アルデヒド類 | 硝酸 | 過酸化水素 | － | イソ吉草酸 | BHT |
